Можно уложить деревянные лаги, а между лагами утеплитель плитный. Затем постелить гидроизоляционную плёнку, а поверх плёнки - листы фанеры (или же ДВП, ДСП и т.д.), только не очень впритык, а-то фанера со временем скрипеть начнёт, ну а по фанере - практически любые чистовые полы можно уложить. Один минус, со временем что фанера, что ДСП начнут деформироваться.