Один из простых способов - это гидроизолировать деревянный пол, потом застелить его плитами ГВЛ, причем стыки пли должны попадать на доски, а не на щели между ними. Прогрунтовать плиты грунтовкой глубокого проникновения - и вперед, класть плитку. Дело в том что если делать обычную стяжку, то на дерево нужен достаточно толстый слой цемента, иначе потрескается, а если у вас еще и лаги деревянные и дом не новый - то это сильно утяжеляет пол.