Обязательно изначально нужно сделать гидроизоляцию основания в парилке и сделать дренажный отвод. Обычно, как я видел, потом укладывают лаги, между ними синтетический утеплитель (кто-то кладёт, кто-то нет), потом фольгу рулонную монтируют, ну а финально - доски 4,5 сантиметровые обычно, осину или дуб.